고부하 환경에서의 석영관 파손 방지 고부하가 요구되는 제조 공정에서는 램프가 고장 나는 것은 큰 재앙입니다. 단순히 가동 중단 문제뿐만 아니라, 만약 치유 과정 중에 석영관이 파손된다면, 파편과 화학물질들이 사방으로 튀게 됩니다. 그러면 웨이퍼들이 오염되고, 엄청난 청소 작업이 필요해집니다. 우리는 이러한 상황을 대비하여 내열성이 뛰어난 IR 램프를 만듭니다. 그래야만 클린룸이 재앙의 현장으로 변하는 것을 막을 수 있습니다.
열과 파손 위험 대처 고왁트급 IR 램프는 엄청난 열을 발생시킵니다. 이러한 고온 때문에 석영관이 팽창하게 되고, 그로 인해 유리에 엄청난 스트레스가 가해집니다. 이 문제를 해결하기 위해 우리는 고순도의 융합 석영을 사용합니다. 이 재료는 저가형 재료보다 훨씬 적게 팽창하기 때문에, 열을 빠르게 올리거나 내릴 때에도 석영관이 깨지지 않습니다. 하지만 재료만으로는 충분하지 않습니다. 우리는 필라멘트가 정확히 중심에 위치하도록 합니다. 조금이라도 벗어나면 열이 집중되는 부분이 생기고, 그곳에서부터 파손이 시작됩니다. 필라멘트를 중심에 유지함으로써 램프의 수명을 연장할 수 있습니다.
오염 방지 우리는 단순히 석영관이 견디기를 바라는 것이 아닙니다. 웨이퍼가 손상되지 않도록 여러 가지 안전 장치를 추가합니다. 먼저, 특수 코팅을 도포하여 IR 빛은 통과시키면서도 석영관을 더욱 튼튼하게 만듭니다. 그 다음에는 파손을 방지하는 보호 커버나 격자를 추가합니다. 이는 예비 조치로, 석영관이 깨져도 파편들이 커버 안에 갇혀 있어 웨이퍼가 오염되지 않도록 합니다.
희생과 타협 높은 에너지 밀도는 좋지만, 그에 따른 부담도 큽니다. 램프를 최대 성능으로 사용할 때, 전력 공급 장치와 냉각 시스템에 큰 부담이 가해집니다. 따라서 웨이퍼에서 반사되는 열을 처리할 수 있는 충분한 냉각 시스템이 필요합니다. 공기 흐름이 약하면 하우징이 과열되어 커넥터와 선들이 손상될 수 있습니다. 결국 더 나은 냉각 시스템이 있으면 장비의 수명도 더 길어집니다.