균일성을 위한 포토레지스트 건조 램프

리소그래피 공정에서 ‘베이크’ 단계는 단순한 정지 상태가 아니라, 오히려 공정을 제어하는 중요한 요소입니다. 만약 소프트 베이크나 하드 베이크가 균일하지 않다면, 웨이퍼의 두께 변동, 정상파 현상, 그리고 생산 효율 저하와 같은 문제가 발생합니다. 우리는 이러한 변수...