웨이퍼 제조 공정에서 에너지를 낭비하지 마세요.
솔직히 말해서, 웨이퍼 제조 공정에서 에너지를 낭비하는 것은 단순히 비용 문제만이 아닙니다. 이는 오염 위험도 초래합니다.
고출력의 가열 요소를 사용할 때, 그 열 에너지의 상당 부분이 그냥 사라져버립니다. 그 열 에너지는 목표물에서 멀리 떨어져서 공중으로 사라집니다. 우리는 금 코팅된 반사체를 사용하여 이 문제를 해결합니다. 고순도 금 필름을 챔버 내부에 부착함으로써, 그 열 에너지를 다시 웨이퍼로 돌려보낼 수 있습니다.
왜 금인가요?
금은 적외선을 반사하는 데 매우 효과적입니다. 일반적인 알루미늄이나 광택 처리된 강철로는 충분하지 않습니다. 너무 많은 에너지가 빠져나가기 때문입니다. 반면에 금은 열 에너지의 98%까지 반사해냅니다. 그러므로 램프에서 나오는 모든 에너지가 실제로 실리콘에 도달하게 됩니다. 이렇게 하면 온도 조절이 더 용이해지고, 가동 시간도 훨씬 줄어듭니다.
하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 너무 많은 에너지를 한 곳에 집중시키면 심각한 열 문제가 발생할 수 있습니다. 따라서 챔버 주변의 열을 처리할 수 있는 쿨링 시스템이 반드시 필요합니다. 쿨링이 제대로 이루어지지 않으면 장비가 손상될 수 있습니다. 아무도 그런 상황을 원하지 않습니다.
설치 방법
이 제품들은 그대로 교체할 수 있도록 설계되었습니다. 전력 공급 장치나 전체 시스템을 분해할 필요가 없습니다. 우리는 오직 광학 경로에만 집중합니다.
하지만 한 가지 주의해야 할 점이 있습니다. 이 코팅은 화학적 가스에 의해 손상될 수 있습니다. 철저한 청소가 필요합니다. 산화나 오염물이 쌓이면 반사율이 떨어집니다. 그러면 램프는 더 열심히 작동해야 하고, 온도도 더 높아집니다.
생각 방식을 조금만 바꾸면 됩니다. 단순히 전압을 높여서 최선을 기대하는 대신, 에너지를 적절한 곳으로 보내는 것입니다. 그렇게 하면 전력 공급 장치의 부담이 줄어들고, 웨이퍼 전체의 온도도 안정적으로 유지됩니다.