클린룸 장비 업그레이드 공장
웨이퍼 제조 공정에서 에너지를 낭비하지 마세요.
솔직히 말해서, 웨이퍼 제조 공정에서 에너지를 낭비하는 것은 단순히 비용 문제만이 아닙니다. 이는 오염 위험도 초래합니다.
고출력의 가열 요소를 사용할 때, 그 열 에너지의 상당 부분이 그냥 사라져버립니다. 그 열 에너...
클린룸 벤치 적외선 램프
왜 클린룸에서 IR 램프를 사용하는가? 클린룸에서 부품을 건조시키거나 경화시킬 때, 일반적인 대류식 오븐은 그다지 효과적이지 않습니다. 특히 요즘은 모든 사람들이 “무연” 및 “친환경” 기준을 추구하고 있습니다. 문제는 단순히 화학물질을 바꾸는 것이 아니라, 열을 어...
클린룸 오븐 적외선 히터
제조 현장에서는, 단 1.2°C라는 미세한 온도 변화만으로도 규격에 맞아야 할 포토레지스트의 특성이 망가질 수 있습니다. 우리는 이러한 변수들을 제거하기 위해 클린룸용 적외선 히터를 개발했습니다. 이 히터는 반도체 제조 공정의 특성을 고려하여 설계되었으며, 열량은 일...