열을 유지하면서도 공장이 파괴되는 것을 막는 방법 화학 세척 라인에서 적외선 히터를 사용할 때는 마치 고위험 게임을 하는 것과 같습니다. 주변에는 가연성 증기가 있고, 모든 것을 부식시킬 수 있는 유해한 액체들도 존재합니다. 일반적인 석영관을 사용한다면 큰 문제가 생...

300mm 웨이퍼 처리 과정에서, 웨이퍼 표면에 아주 작은 물방울 자국만 남아 있어도 전체 제품을 폐기해야 합니다. 기존의 건조 방식에서는 웨이퍼 스택 전체의 온도 차이를 신뢰할 수 없습니다. 하지만 공정의 정밀도가 나노미터 단위로 측정될 때는 그러한 위험을 감수할...