균일성을 위한 포토레지스트 건조 램프
리소그래피 공정에서 ‘베이크’ 단계는 단순한 정지 상태가 아니라, 오히려 공정을 제어하는 중요한 요소입니다. 만약 소프트 베이크나 하드 베이크가 균일하지 않다면, 웨이퍼의 두께 변동, 정상파 현상, 그리고 생산 효율 저하와 같은 문제가 발생합니다. 우리는 이러한 변수...
포토레지스트 베이킹 램프
리소그래피 공정에서 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 단계가 아니라 열적 핸드쉐이크입니다. 반도체의 반도체 공정에서 0.5도 차이가 CD 편차를 변화시키고, 핫 스팟은 웨이퍼에 결함을 인쇄하여 수율 손실로 이어질 수 있습니다. 우리는 공정에서 필요한 열 예산을 유...