적외선 가열 vs. 뜨거운 공기 가열: 웨이퍼가 온도에 도달할 때까지 기다리는 것을 그만두세요. 여전히 많은 반도체 제조 공장들이 웨이퍼를 가열하기 위해 뜨거운 공기를 사용하고 있습니다. 이는 구식 방법이며, 솔직히 말해서 효율성이 형편없습니다. 문제는 열 전달 속도...

열 낭비를 막아보세요: 웨이퍼를 더 효과적으로 가열하는 방법 실리콘 웨이퍼를 가열하는 것은 겉보기에는 간단해 보이지만, 실제로 현장에서 작업을 해본 엔지니어라면 그 심각성을 잘 알고 있습니다. 바로 ‘잉여 열’ 문제입니다. 일반적인 가열 장치를 사용할 경우, 에너지가...

적외선을 이용한 MEMS 웨이퍼 건조 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 균형을 잘 맞춰야 합니다. 수분은 반드시 제거해야 하지만, 어떠한 잔류물도 남겨서는 안 되며, 반드시 하드웨어에 손상이 가지 않도록 해야 합니다. 그래서 우리는 적외선을 활용합니다. 화학물...

치유용 램프가 전체 기기를 과열시키는 것을 막으세요 만약 적외선 에너지가 기기의 외부로 유출된다면, 그건 설계상의 문제입니다. 간단한 원리죠. 고출력 적외선 램프를 사용할 때, 그 방사열은 웨이퍼에만 머물러 있지 않습니다. 주변으로 퍼져나갑니다. 이 열이 어디로 가는...

진공 챔버를 과도하게 가열하는 것을 멈추세요 반제품 생산 공정에서 일해본 사람이라면 이 문제를 잘 알고 있을 것입니다. 웨이퍼를 따뜻하게 해야 하지만, 그 과정에서 장비 전체가 손상되는 것을 막아야 합니다. 문제는, 일반적인 적외선 램프는 마치 강화된 형태의 전구와...

서론 이제 진짜 문제점에 대해 이야기해보겠습니다. 바로 엄청나게 비싼 수입형 반도체 부품들입니다. 특히, 웨이퍼 처리 과정에서 필수적으로 사용되는 적외선 가열램프가 그렇습니다. 모든 사람들이 궁금해하는 것은, 과연 그 자리를 완벽하게 대체할 수 있는 국내산 제품이 있...

24시간 365일 가동되는 팹 플로어에서 베이크 온도의 미세한 변동이나 입자 스파이크는 단순히 차트상의 한 줄로 나타나는 것이 아니라 많은 웨이퍼가 폐기된다. 웨이퍼 가공 공정에서는 포토레지스트 소프트 베이크와 하드 베이크 동안 열 편차에 대해 전혀 여유가 없다. 당...