FOUP(프론트 오픈 유니파이드 포드) 건조기

300mm 웨이퍼 처리 과정에서, 웨이퍼 표면에 아주 작은 물방울 자국만 남아 있어도 전체 제품을 폐기해야 합니다. 기존의 건조 방식에서는 웨이퍼 스택 전체의 온도 차이를 신뢰할 수 없습니다. 하지만 공정의 정밀도가 나노미터 단위로 측정될 때는 그러한 위험을 감수할...