적외선 램프 고정 클립

리소그래피 라인에서는 포토레지스트를 건조할 때 2°C만큼의 온도 변화가 발생해도 많은 양의 제품이 버려질 수 있습니다. 저희는 적외선 램프를 고정하는 클립을 개선하여 웨이퍼 전체에서 온도가 ±0.1°C 이내로 유지되도록 했습니다. 이 분야에서는 생산성이 바로 이러한...