적외선을 이용한 MEMS 웨이퍼 건조 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 균형을 잘 맞춰야 합니다. 수분은 반드시 제거해야 하지만, 어떠한 잔류물도 남겨서는 안 되며, 반드시 하드웨어에 손상이 가지 않도록 해야 합니다. 그래서 우리는 적외선을 활용합니다. 화학물...

벽을 가열하는 것을 그만두세요: 웨이퍼를 건조시키는 더 좋은 방법 만약 반도체 제조 공장에서 건조 과정을 관리해본 적이 있다면, 그 어려움을 잘 알고 있을 것입니다. 웨이퍼를 건조시키려고 하지만, 에너지의 절반이 기계의 본체로 낭비됩니다. 이는 매우 당황스러운 상황입...

200mm 공정에서는 세척 후의 건조 과정이 단순한 대기 시간에 불과한 것이 아닙니다. 이때 표면 장력, 남아 있는 용매, 그리고 미세 오염물들이 다음 단계의 포토레지스트 코팅이 정상적으로 이루어질지, 아니면 문제가 생길지를 결정합니다. 실제로 중요한 요소들 저희의...