用于光刻机的石英玻璃护盾
为何石英玻璃屏蔽层对红外加热系统如此重要?
在半导体制造厂中,我们处理的都是极其微小的数值——以微米和毫秒来衡量。这无疑是一个高压力环境。大多数人只关注红外加热灯本身,但实际上,加热灯只是整个系统的一半而已。
如果您希望实现绿色生产目标,或者避免浪费电能,那就必须考虑热量是如何传递到晶圆上的。这时...
用于制造炉的石英加热管
在制造车间里,如果在软烘烤过程中出现温度漂移,或者烘干室中存在温度不均的情况,都会影响到工艺所需的温度控制。甚至在产品离开洁净室之前,其合格率就已经开始下降。我们设计的石英加热管就是为了防止这种情况发生——它能够将温度维持在工艺要求的水平上,而不是让温度受限于加热器的实际工作状态。
从技术层面来看...