加热氢传感器的更佳方法 在制造氢传感器时，温度控制至关重要。如果温度控制不当，催化剂就无法发挥作用，或者传感器膜也会失效。长期以来，我们一直依赖那些大型电阻式加热器，但实际上它们只是浪费大量能源的“大号电暖器”而已。 因此，我们转而使用短波红外线灯。这种方法无需加热大量空气，而是直接对传感器进行加...

为什么我们要放弃传统烤箱，转而使用红外固化技术？ 说实话，多年来我们一直在半导体封装过程中使用那些巨大的对流式烤箱。这就好比为了加热一杯咖啡而整栋房子都加热起来一样，实在是一种浪费。 正因如此，大家都开始转向使用红外固化技术。这不仅仅是为了符合“绿色制造”的要求或避免使用含铅物质——虽然这些也有好...

用红外线干燥MEMS晶圆 在干燥MEMS传感器晶圆时，需要找到一个完美的平衡点。必须去除其中的湿气，但同时不能留下任何残留物，更不能对芯片本身造成损害。 正因如此，我们选择使用红外线进行干燥处理。与使用化学物质或加热空气相比，红外线可以直接作用于水分子，从而实现更高效的干燥效果。这种方式更加环保，...

别再让真空室被过度加热了 那些在半导体制造领域工作过的人都知道这个难题：需要将晶圆加热到适当温度，但又不能让整个设备一起被烧坏。 问题在于：普通的红外灯其实就像强化的灯泡——它们向各个方向释放热量。其中大量能量并没有照射到晶圆上，而是直接照射到真空室的内壁上。当这些内壁吸收了过多的热量后，就会出现...