用于晶圆的精密红外传感器

别再让真空室被过度加热了 那些在半导体制造领域工作过的人都知道这个难题：需要将晶圆加热到适当温度，但又不能让整个设备一起被烧坏。 问题在于：普通的红外灯其实就像强化的灯泡——它们向各个方向释放热量。其中大量能量并没有照射到晶圆上，而是直接照射到真空室的内壁上。当这些内壁吸收了过多的热量后，就会出现...