保持高温状态（同时避免设备损坏） 在化学清洗线上使用红外线加热器时，其实就是在玩一场风险极高的游戏。周围有易燃的蒸汽，还有具有腐蚀性的液体，这些都会对设备造成破坏。 普通的石英管？根本不可用。哪怕有微小的火花或电线松动，都可能引发灾难。因此，我们不会简单地“安装”加热器，而是采取有效的防护措施。...

在300毫米工艺线中，只要有一个FOUP从清洗设备中取出时带有微量水渍，就足以导致整批产品报废。而采用传统干燥方式的话，其实就是在赌晶圆表面的温度分布是否均匀。但当工艺要求达到纳米级精度时，这种风险是无法接受的。 关键性能指标 这款FOUP干燥机能够实现±0.1°C的晶圆表面温度均匀性——这一数值...