MEMS传感器晶圆干燥加热器

用红外线干燥MEMS晶圆 在干燥MEMS传感器晶圆时，需要找到一个完美的平衡点。必须去除其中的湿气，但同时不能留下任何残留物，更不能对芯片本身造成损害。 正因如此，我们选择使用红外线进行干燥处理。与使用化学物质或加热空气相比，红外线可以直接作用于水分子，从而实现更高效的干燥效果。这种方式更加环保，...