웨이퍼용 맞춤 적외선 히터

24시간 365일 가동되는 팹 플로어에서 베이크 온도의 미세한 변동이나 입자 스파이크는 단순히 차트상의 한 줄로 나타나는 것이 아니라 많은 웨이퍼가 폐기된다. 웨이퍼 가공 공정에서는 포토레지스트 소프트 베이크와 하드 베이크 동안 열 편차에 대해 전혀 여유가 없다. 당...