치유용 램프가 전체 기기를 과열시키는 것을 막으세요
만약 적외선 에너지가 기기의 외부로 유출된다면, 그건 설계상의 문제입니다. 간단한 원리죠.
고출력 적외선 램프를 사용할 때, 그 방사열은 웨이퍼에만 머물러 있지 않습니다. 주변으로 퍼져나갑니다. 이 열이 어디로 가는지 제어하지 않으면, 기기의 내부 벽면이 그 열을 모두 흡수하게 됩니다. 결국 기기의 외부가 너무 뜨거워져서 사람이 다칠 수도 있으며, 냉각팬도 계속해서 과도한 부담을 받게 됩니다.
열을 올바른 곳으로 보내는 방법
핵심은 적외선 광원과 함께, 그 열을 제대로 반사해줄 반사판을 사용하는 것입니다.
일반적인 램프는 360도 방향으로 광선을 방출합니다. 하지만 포물면이나 타원형의 반사판을 사용하면, 광자들이 웨이퍼에 집중되도록 할 수 있습니다. 이는 단순히 처리 속도를 높이는 것이 아니라, 열이 퍼지는 것을 막는 것입니다.
재질도 중요합니다
보통은 금 도금된 재질이나 고순도 알루미늄을 사용합니다. 금은 적외선을 매우 잘 반사하기 때문에 최적의 선택입니다.
만약 반사판이 너무 많은 열을 흡수한다면, 변형되거나 산화될 수 있습니다. 그렇게 되면 초점이 바뀌고, 웨이퍼에 ‘차가운 부분’이 생겨서 모든 것이 원점으로 돌아갑니다.
또한 램프를 설치할 때 정확한 위치를 유지하는 것도 중요합니다. 아주 작은 오차라도 광선의 방향을 몇 밀리미터나 벗어나게 만들 수 있습니다. 그렇게 되면 치유 과정이 실패하고, 다시 기기의 외부가 과열될 수 있습니다.
실제 설치 시 주의사항
램프를 설치할 때는 반사판이 진동으로 인해 움직이지 않도록 견고하게 고정해야 합니다.
생산 환경은 소음이 많습니다. 기계들이 계속 소리를 내죠. 램프가 조금이라도 움직이면 광선의 방향도 바뀝니다. 따라서 모든 것을 정확한 위치에 고정시킬 수 있는 견고한 마운팅 브라켓을 사용해야 합니다.
마지막으로, 웨이퍼 쪽으로 더 많은 열을 집중시키면 램프의 뒷부분도 과열됩니다. 따라서 냉각 시스템이 그 열을 제대로 처리할 수 있도록 해야 합니다. 그렇지 않으면 전원 공급장치가 손상될 수 있습니다.