もう、ヒーターが生産性を損なうのを放っておかないでください。
クラス100のクリーンルームを運用している方なら、その悩みはよくご存知でしょう。ほんのわずかなほこりやガスの発生だけで、生産性が急激に低下してしまいます。本当にイライラしますよね。一般的な加熱要素は、実際にはほこりを発生させる原因となります。安定して動作すべきタイミングで、むしろほこりを発生させてしまうのです。
私たちは、高純度の石英製の赤外線ランプと金製の反射器を組み合わせることで、この問題を解決しようとしました。
なぜ金なのか？
アルミニウムは一般的に使われていますが、酸化してしまいます。時間が経つにつれて、アルミニウムは剥がれ落ちてしまいます。しかし金はそうではありません。金メッキされた反射器を使うことで、赤外線エネルギーの約98％を正確に前方に送り出すことができます。これにより、効率的に熱を供給でき、筐体の他の部分が冷たい状態に保たれます。また、電力を危険なレベルまで上げる必要もありません。
石英の利点
チューブとしては、合成された高純度石英を使用しました。耐久性が高く、極端な温度変化にも耐えられます。化学的に無反応なので、ウェーハや精密な光学部品を損傷させる心配もありません。常に清潔な状態を保てます。
設置方法と注意点
これらは、既存のIRアレイの代替品として設計されています。標準的なコネクタを使用しているため、接続も簡単です。問題はありません。
ただし、注意が必要です。**電力密度に注意してください。**金製の反射器は熱を集中させる能力が非常に高いため、PIDコントローラーの設定が適切でなければ、目標温度を超えてしまう可能性があります。また、狭い空間に高いワット数の電力を供給する場合は、冷却ファンにも注意が必要です。空気の流れが妨げられると、筐体内に熱が蓄積され、フィラメントの寿命が短くなってしまいます。
結論
潤滑剤も不要。剥がれ落ちることもありません。奇妙なガスも発生しません。スイッチを入れれば、すぐに動作します。これは、厳しい汚染問題を解決するためのシンプルで効果的な方法です。