真空室红外加热器

别再等待了：真空红外加热技术的真相 如果你仍然依赖热空气循环来进行半导体加工，那无异于与时间作斗争。 问题在于：在真空中没有空气可供流动，因此无法通过“吹风”来为晶圆加热。这时，真空红外加热器就派上用场了。它不需要先加热整个房间或腔体，而是直接利用电磁辐射来加热晶圆。这是一种完全不同的加热方式。...