为什么在深度加工过程中我们放弃热风加热，而改用红外线加热呢？
想象一下对流烤箱的工作原理：首先加热空气，然后空气再去加热食物。这里存在一定的延迟。在半导体加工领域，这种延迟是极其致命的——它意味着浪费了宝贵的时间，而这是我们无法承受的。
因此，我们选择使用超高纯度红外线灯。这样就可以完全省去中间环节——即空气的作用。
速度上的差异简直巨大。
由于红外线灯利用的是电磁辐射，因此一旦打开开关，热量就会立即照射到芯片上。而热风系统则需要数分钟才能让温度稳定下来。相比之下，超高纯度红外线灯可以在几秒钟内就让温度达到目标值。
速度极快。这就大大提升了工作效率。每个班次内，可以处理更多的芯片。
现在，我们来谈谈洁净室中的“清洁”问题。气体泄漏是个大麻烦。普通灯泡容易释放杂质，但我们的超高纯度红外线灯则采用了高品质的合成石英材料以及特殊的密封结构，因此不会产生任何颗粒物或杂质。同时，由于功率密度很高，整个装置不会占用过多的空间。
不过，有一点需要注意：务必确保电源能够承受这么高的负载。如果变压器无法承受这种峰值负荷，就会导致电压下降，进而影响温度的均匀性。
这并不是简单意义上的“即插即用”产品。
从热风加热转向红外线加热需要精心规划。因为红外线具有方向性，所以必须精确控制加热区域的位置。哪怕只有几毫米的偏差，都可能导致芯片上出现温度不均的情况。这需要仔细调整。
我的建议是：不要一下子全部更换。先从那些对时间要求最严格的区域开始，确保温度达到理想状态，然后再逐步处理其他区域。
实际上，这里的优势不仅仅是功率大小，更重要的是效率。同样的效果下，机器运行的时间会大幅减少。