램프용 SCR 전력 조절기

공정에서의 기술적 중요성 반도체 제조 현장에서 포토레지스트 베이크 프로파일은 한 가지에 달려 있습니다: 램프 배열의 안정성. 소프트 베이크가 0.5°C만 떠도 CD 제어가 흐트러집니다. 하드 베이크가 1.0°C만 변동해도 스커밍과 잔여물이 발생합니다. 우리는 램프를...