와이퍼 건조 모듈 200mm

200mm 공정에서는 세척 후의 건조 과정이 단순한 대기 시간에 불과한 것이 아닙니다. 이때 표면 장력, 남아 있는 용매, 그리고 미세 오염물들이 다음 단계의 포토레지스트 코팅이 정상적으로 이루어질지, 아니면 문제가 생길지를 결정합니다. 실제로 중요한 요소들 저희의...