진공 챔버용 적외선 히터

더 이상 히터를 기다리지 마세요: 진공 적외선 가열기의 현실 만약 여전히 반도체 처리에 열공기 순환 방식을 사용하고 있다면, 그건 시간과의 싸움에서 패배하는 것과 같습니다. 문제는 진공 상태에서는 공기가 전혀 움직이지 않는다는 점입니다. 웨이퍼에 열을 가할 수도 없습...