جلوگیری از نشت گرما: روش هوشمندانهتری برای استفاده از تجهیزات تولیدی
اگر واقعاً میخواهیم به اهداف کاهش انتشار کربن دست یابیم، باید از گرم کردن چیزهایی که نیازی به گرما ندارند، جلوگیری کنیم.
اکثر ما عادت به روش گرمایش تراکمی داریم؛ یعنی گرم کردن کل فضای مربوطه و امیدواری به اینکه ویفر درجه حرارت لازم را دریافت کند. این روش بسیار هدردهنده است. به همین دلیل، ما به سمت استفاده از لامپهای مادون قرمز برای پخت و ترمیم قطعات رفتهایم. در این روش، به جای گرم کردن کل محفظه و دیوارههای آن، انرژی را دقیقاً در جایی هدایت میکنیم که نیاز به آن وجود دارد.
مسئله اصلی، سرعت گرم شدن است.
در سیستمهای سنتی، بار حرارتی بسیار زیادی وجود دارد و رسیدن به دمای مورد نظر مدت زمان زیادی طول میکشد. اما با استفاده از لامپهای مادون قرمز، انرژی تقریباً بلافاصله به سطح ویفر منتقل میشود. این روش باعث کاهش زمان انتظار از دقایق به ثوانی میشود. در تولیدات با حجم بالا، این کاهش زمان منجر به صرفهجویی قابل توجهی در مصرف برق میشود.
برای رسیدن به دمای مناسب، از رشتههای هالوژنی درون پوششهای کوارتزی با خلوص بالا استفاده میکنیم. این روش امکان قرار دادن انرژی زیادی در فضای کوچکی را فراهم میکند.
اما مشکل اینجاست: به دلیل شدت بالای تغییرات دمایی، نمیتوانیم از سیستمهای خنککننده غافل شویم. باید مطمئن شویم که سیستمهای خنککننده قادر به مقابله با گرمای اضافی اطراف لامپ باشند. در غیر این صورت، قطعات تجهیزات خراب خواهند شد.
بهترین نکته این است که نیازی نیست همه چیز را تعویض کنیم.
ما این تجهیزات را به گونهای طراحی کردهایم که به عنوان جایگزین سادهای برای عناصر گرمایشی قدیمی عمل کنند. از کانکتورهای استاندارد استفاده کردهایم تا در حین تعویض تجهیزات، مشکلاتی پیش نیاید. هدف ما این است که شما بتوانید از تجهیزات سبز استفاده کنید، بدون اینکه خط تولیدتان برای یک هفته متوقف شود.
در نهایت، این موضوع مربوط به قوانین فیزیک ساده است: انرژی را روی ویفر متمرکز کنیم و از هدر رفت انرژی در تجهیزات خودداری کنیم. کمتر هدر رفت انرژی، کمتر مصرف برق، فرآیند سادهتر.