در فرآیند تولید، اختلالات ناشی از گرمایش ناهموار در محفظه خشککننده، منجر به هدر رفتن انرژی گرمایی میشود. بازدهی تولید، حتی قبل از خروج محصولات از اتاق پاک، کاهش مییابد. ما لولههای گرمایشی کوارتزی خود را طوری طراحی کردهایم که از وقوع چنین مشکلاتی جلوگیری کنند؛ یعنی دما را در سطحی نگه میدارند که فرآیند تولید نیاز دارد، نه در سطحی که لوله گرمایشی قرار دارد.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارد؟
لوله گرمایشی، امواج مادون قرمز را از طریق کوارتز با خلوص بالا منتقل میکند؛ بنابراین سرعت گرم شدن بالا و انرژی گرمایی کمی وجود دارد. میتوان انتظار داشت که دما در سراسر طول لوله، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی بماند؛ همچنین، پروفایلهای گرمایی در محدوده دمایی ۱۵۰ تا ۳۵۰ درجه سانتیگراد قابل تکرار خواهد بود. در محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰، مواد و قطعات مورد استفاده به گونهای انتخاب شدهاند که تعداد ذرات موجود در محیط کاهش یابد؛ بنابراین هیچ اختلالی در فرآیند تولید ایجاد نخواهد شد. تراکم انرژی نیز به گونهای تنظیم شده است که با نواحی مختلف فرآیند تولید سازگار باشد؛ همچنین، ساختار لوله گرمایشی به گونهای طراحی شده است که بتواند در شرایط سخت نیز کار کند.
دلایلی که باعث میشود این سیستم در شرایط واقعی کار کند:
خشککردن و تمیز کردن ویفرها نیازمند یکپارچگی دماست؛ گرمای ناهموار باعث ایجاد لکهها و نقصهایی در ویفرها میشود. در فرآیند لیتوگرافی، گرم کردن فوتورزیست نیز بر ابعاد مهم محصول تأثیر میگذارد؛ این لوله گرمایشی، کل محصولات را در محدوده استانداردها نگه میدارد، بنابراین نیازی به بازسازی محصولات نیست. برای بستهبندی نیز، فرآیندهای خشککردن و پر کردن فضاهای خالی نیازمند یکپارچگی دما است؛ این لوله گرمایشی این کار را بدون ایجاد نقص در سطح ویفرها انجام میدهد. نتیجه این است که تغییرات پارامترهای فرآیند کمتر خواهد بود، مصرف انرژی به ازای هر ویفر کمتر خواهد بود، و فاصله زمانی بین تعمیرات نیز بیشتر خواهد بود.
چند نکته عملی:
کوارتز در برابر شوک مکانیکی یا تنشهای گرمایی مقاومتی ندارد؛ بنابراین، قطعات مربوط به فرآیند گرم کردن باید بتوانند لوله گرمایشی را بدون فشار زیاد نگه دارند. همچنین، کنترل دما نیز ضروری است. حتماً فاصلههای بین لوله گرمایشی و سایر قطعات را بررسی کنید؛ همچنین، اطمینان حاصل کنید که ولتاژ و سیستم خنککننده با سیستم فرآیند تولید سازگار باشد. بررسیهای دورهای بر روی قطعات مربوط به فرآیند گرم کردن نیز ضروری است؛ این بررسیها باعث میشوند که عملکرد فرآیند تولید پایدار بماند.