دیگر اجازه ندهید انرژی گرمایی خود را در کارخانههای تولید ویفرها هدر دهید!
بیایید صادق باشیم: هدر رفتن انرژی در این کارخانهها، فقط مشکل مربوط به هزینهها نیست؛ بلکه خطر آلودگی نیز وجود دارد.
وقتی از عناصر گرمایشی با توان بالا استفاده میکنیم، بخش زیادی از انرژی مادون قرمز از بین میرود. این انرژی از سطح هدف منتشر شده و در فضای اطراف ناپدید میشود. ما این مشکل را با استفاده از بازتابندههای پوشیده از طلا حل میکنیم؛ با پوشاندن دیوارههای محفظه با لایههای طلا، ما تمام انرژی گرمایی را دوباره به سمت ویفر هدایت میکنیم.
چرا طلا؟
چون طلا در بازتاب انرژی مادون قرمز عملکرد بسیار خوبی دارد. آلومینیوم یا فولاد صیقلی، این کار را انجام نمیدهند؛ زیرا انرژی زیادی از آنها نشت میکند. اما طلا تا ۹۸٪ از انرژی گرمایی را بازتاب میدهد؛ یعنی هر وات انرژی از لامپها، واقعاً به سمت سیلیکون میرسد. این کار باعث میشود که دمای ویفر یکنواخت بماند و زمان لازم برای گرم شدن ویفر نیز کاهش یابد.
اما مشکل اینجاست: وقتی انرژی زیادی را در فضای کوچکی متمرکز میکنیم، منطقه گرمایی شدیدی ایجاد میشود. باید مطمئن شویم که سیستمهای خنککننده میتوانند این گرمای اضافی را کنترل کنند. اگر سیستم خنککننده کارایی لازم را نداشته باشد، ویفرها دچار اختلال خواهند شد. و هیچ کس نمیخواهد با چنین مشکلی روبرو شود.
نحوه استفاده از این محصولات
ما این محصولات را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را جایگزین محصولات قدیمی کرد. نیازی نیست که سیستمهای تغذیه انرژی را تعمیر کنید یا سیمکشی کل سیستم را تغییر دهید؛ کافی است فقط مسیر انتقال انرژی را تنظیم کنید.
البته یک نکته مهم وجود دارد: این لایههای طلا ممکن است تحت تأثیر بخارات شیمیایی قرار بگیرند؛ بنابراین باید برنامههای تمیزکاری دقیقی داشته باشیم. اگر اکسیداسیون یا رسوباتی روی این لایهها ایجاد شود، بازتابندگی آنها کاهش خواهد یافت؛ در این صورت، لامپها باید بیشتر کار کنند تا بتوانند دمای لازم را حفظ کنند.
این یک تغییر ساده در نحوه تفکر است؛ به جای اینکه فقط ولتاژ را افزایش دهیم، انرژی را به جای مناسب خود هدایت میکنیم. این کار باعث میشود که سیستم تغذیه انرژی کارایی بهتری داشته باشد و دمای ویفر در سراسر سطح آن یکنواخت بماند.