جلوگیری از شکستن لولههای کوارتز در فرآیند خشک کردن ویفرها در محیطهای پربار
در کارخانههایی که با بارهای بالایی کار میکنند، خراب شدن لامپها یک فاجعه است. مسئله صرفاً مربوط به زمان توقف کار نیست؛ اگر لوله کوارتز در حین فرآیند خشک کردن شکسته شود، تکههای شیشهای و مواد شیمیایی در همه جا پراکنده میشوند. در نتیجه، ویفرها آلوده میشوند و شما مجبور به تمیزکاری گستردهای میشوید. ما لامپهای مادون قرمز خود را طوری طراحی کردهایم که بتوانند چنین گرمایی را تحمل کنند؛ تا شما نیازی به نگرانی درباره تبدیل شدن اتاقهای پاکسازی به مناطق فاجعهبار نداشته باشید.
مقابله با گرما و خطرات ناشی از شکستن لولهها
لامپهای مادون قرمز با توان بالا، دمای بسیار بالایی دارند. وقتی که این لامپها تحت فشار قرار میگیرند، گرما باعث انبساط کوارتز میشود؛ این امر فشار زیادی روی شیشه وارد میکند.
برای حل این مشکل، از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ این ماده تقریباً هیچ انبساطی ندارد، بنابراین لوله در هنگام افزایش یا کاهش سریع دما، شکسته نخواهد شد.
اما ماده، تنها نیمی از راهحل است؛ ما مطمئن میشویم که رشته الکتریکی در مرکز لوله قرار داشته باشد. اگر رشته الکتریکی کمی حرکت کند، نقاطی ایجاد میشود که گرما در آنجا تمرکز میکند؛ اینجاست که مشکلات شروع میشود. نگه داشتن رشته الکتریکی در مرکز، باعث عملکرد بهتر لامپ میشود.
جلوگیری از آلودگی ویفرها
ما فقط امیدواریم که لولهها مقاوم باشند؛ برای این منظور، از راهکارهای ایمنی مختلفی استفاده میکنیم تا مطمئن شویم که هیچ چیزی به ویفرها آسیب نرساند.
اولاً، میتوانیم روکشهای ویژهای روی لولهها بزنیم؛ این روکشها اجازه میدهند که نور مادون قرمز از آنها عبور کند، اما لوله را مقاومتر میکنند. سپس، از غلافهای مقاوم در برابر شکست استفاده میکنیم؛ این غلافها مانند یک راهکار اضطراری عمل میکنند. اگر لوله شکسته شود، تکههای آن درون غلاف باقی میمانند و ویفرها کاملاً تمیز باقی میمانند.
تعادل بین مزایا و معایب
در واقع، داشتن چغرافیای انرژی بالا مزیت بزرگی است، اما نیازمند توجه ویژه است.
وقتی که این لامپها با حداکثر توان کار میکنند، سیستمهای تأمین انرژی و سیستمهای خنککنندگی تحت فشار قرار میگیرند. باید مطمئن شوید که سیستم خنککنندگی شما میتواند گرمای ناشی از لامپها را کنترل کند.
اگر جریان هوا ضعیف باشد، بدنه لامپ دچار گرمای بیش از حد خواهد شد؛ این امر باعث خرابی کانکتورها و مشکلات الکتریکی میشود. این یک رابطه ساده است: خنککنندگی بهتر، به معنای عمر طولانیتر لامپهاست.