دیگر نیازی به گرم کردن دیوارههای ماشین نیست؛ روش بهتری برای خشک کردن ویفرها وجود دارد.
اگر تا به حال در فرآیندهای خشک کردن ویفرها کار کردهاید، میدانید که این کار چقدر دشوار است. سعی میکنید ویفرها را خشک کنید، اما نیمی از انرژی مصرفی صرف گرم شدن بدنه ماشین میشود. این موضوع بسیار آزاردهنده است؛ در نهایت، دیوارههای داخلی ماشین داغ میشوند و بدنه ماشین آنقدر گرم میشود که دست زدن به آن خطرناک باشد. این موضوع برای کسانی که مسئول نگهداری ماشین هستند، یک کابوس واقعی است.
ما راهی برای حل این مشکل پیدا کردیم؛ از گرمایش مادون قرمز استفاده کردیم.
نکته مهم این است که گرما باید در جهت مشخصی منتشر شود.
بیشتر گرمکنها مانند لامپهای روشنایی هستند؛ یعنی انرژی را در همه جهات پخش میکنند. در فضاهای کوچک، این گرمای اضافی جایی برای رفتن ندارد و فقط به دیوارهها منتقل میشود. ما از لامپهای مادون قرمز با بازتابندههایی استفاده میکنیم؛ این بازتابندهها مانند فلاش لامپ عمل میکنند. در نتیجه، گرما فقط به هدف مورد نظر منتقل میشود و بقیه بخشهای ماشین سرد باقی میمانند.
البته، این روش نیز دارای معایبی است. مزیت اصلی این روش، سرعت عمل است؛ شما نیازی نیست منتظر بمانید تا کل فضای ماشین گرم شود. فوتونها تقریباً بلافاصله به سطح ویفر برخورد میکنند. این روش بسیار سریع است. همچنین، از آنجایی که از تراکم انرژی بالایی استفاده میشود، ابزارهای مورد نیاز فضای کمی را اشغال میکنند.
اما نکته مهم این است که باید مراقب سیستم خنککننده ماشین باشید؛ در حالی که دیوارهها سرد میمانند، بدنه لامپ بسیار گرم میشود. اگر جریان هوا مناسب نباشد، ممکن است قطعات الکتریکی آسیب ببینند یا سنسورهای حرارتی خراب شوند.
چرا باید این کار را انجام دهیم؟ حذف این پدیده «دیوارههای گرم»، فقط برای صرفهجویی در هزینههای انرژی نیست؛ بلکه باعث ایمنی بیشتر میشود. هیچ کس دوست ندارد در حین بارگذاری ویفرها یا بررسیهای روتین، دچار سوختگی شود. علاوه بر این، این روش باعث میشود که توزیع حرارت در سراسر ویفر یکنواختتر شود؛ در نتیجه، ویفر کمتر دچار تغییر شکل میشود.
ما این ابزارها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را به جای گرمکنهای معمولی استفاده کرد؛ کافی است گرمکنهای قدیمی را جایگزین کنید و آنها را به کنترلر PID متصل کنید تا دمای ماشین کنترل شود. در این صورت، دیگر نیازی نیست انرژی را برای گرم کردن دیوارهها هدر دهید، و بدنه ماشین در دمایی مناسب باقی خواهد ماند.