خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS با استفاده از تابش مادون قرمز هنگام خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS، باید تعادل دقیقی برقرار کرد؛ یعنی باید رطوبت...

دیگر نیازی به گرم کردن دیواره‌های ماشین نیست؛ روش بهتری برای خشک کردن ویفرها وجود دارد. اگر تا به حال در فرآیندهای خشک کردن ویفرها کار کرده‌اید،...

در خط تولید ۲۰۰ میلی‌متری، فرآیند خشک کردن پس از تمیزکاری، صرفاً یک زمان توقف نیست؛ بلکه در این مرحله است که تنش سطحی، مواد حلال باقی‌مانده و...