Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Der Vorteil von golden beschichteten Reflektoren
Wenn man Siliziumwafer erhitzt, bedeutet jeder verschwendete Watt im Grunde genommen nur, Geld wegzuwerfen. Zudem entstehen dadurch unnötige Kontaminationsrisiken. Die meisten herkömmlichen Reflektoren streuen die Energie einfach überallhin. Wir machen das anders: Durch den Einsatz von golden beschichteten Reflektoren wird die Energie direkt wieder auf die Oberfläche des Wafer zurückgelenkt. So wird die bezahlte Energie tatsächlich dort in Wärme umgewandelt, wo sie benötigt wird.
Warum Gold?
Es geht nicht darum, etwas Schnickschnack zu haben – Gold ist einfach am besten geeignet, Infrarotstrahlen zu reflektieren. Aluminium ist zwar gängig, doch es neigt dazu, bei hohen Temperaturen zu zerfallen oder seine Eigenschaften zu verlieren. Gold hingegen bleibt stabil. Dadurch kann der Infrarotstrahl in einer konzentrierten Zone gefokussiert werden. Dadurch entsteht eine viel höhere Wärmestrahlung auf dem Wafer – man muss also nicht die Spannung auf das Maximum erhöhen. Dadurch werden die Lampen vorzeitig zerstört.
Reinigung der Luft
In einer Halbleiterfabrik ist Ozon ein echtes Problem – es stört die chemischen Prozesse. Um dieses Problem zu lösen, verwenden wir eine spezielle Quarzmischung sowie Filter, um die kurzwellige UV-Strahlung zu reduzieren. Dadurch entsteht kein Ozon mehr. Das ist ein großer Vorteil, denn man muss sich keine Sorgen mehr um teure Reinigungssysteme machen.
Ein Hinweis zur Hardware
Der Haken dabei ist: Wenn man so viel Energie in einen so kleinen Raum leitet, wird es dort sehr heiß. Wenn man diese Geräte in einer Hochleistungsanlage verwendet, muss man unbedingt sicherstellen, dass das Kühlsystem in der Lage ist, die zusätzliche Hitze zu bewältigen. Andernfalls kann die goldene Beschichtung abplatzen oder oxidieren – dann geht die Gleichmäßigkeit der Wärmeverteilung verloren.
In Betrieb nehmen
Das Beste ist, dass diese Geräte einfach als Ersatz für die vorhandenen IR-Arrays verwendet werden können. Man muss sie nur mit der vorhandenen Stromversorgung verbinden – schon funktionieren sie. Man wird bereits nach kurzer Zeit den Unterschied bemerken: Die Temperaturverteilung auf dem Wafer ist viel gleichmäßiger. Es gibt keine störenden Hotspots mehr, und das Wafer verbiegt sich beim Trocknen oder Glühen weniger. Es funktioniert einfach.