Vermeiden Sie, dass defekte Lampen Ihre Wafer zerstören
In einer Halbleiter-Reinigungsanlage ist das Platzen einer Lampe mehr als nur ein Ärgernis oder ein Verlust an Produktionszeit – es handelt sich dabei um einen echten Albtraum. Wenn eine Quarztube unter hoher Belastung bricht, fallen Glasstücke sowie Wolframfäden direkt auf die Wafer. Dadurch wird eine ganze Charge zerstört. Wir haben unsere wasserdichten IR-Lampen speziell so konstruiert, dass das nicht passieren kann.
Warum brechen die Lampen überhaupt?
Die Bedingungen in den Reinigungsanlagen sind äußerst herausfordernd. Hocheffiziente Heizelemente befinden sich nur wenige Zentimeter von Wasserstrahlen entfernt. Die Temperaturschwankungen sind enorm. Wenn auch nur eine einzige Tropfe auf eine extrem heiße Quarztube trifft, kann diese sofort zerbrechen. Um das zu verhindern, haben wir die Heizelemente in eine spezielle, wasserdichte Hülle eingebettet, deren Enden versiegelt sind. Dadurch bleibt Wasser und Hitze von den Heizelementen fern.
Vermeiden Sie, dass Schmutz in die Wafer gelangt
Wir haben nicht einfach nur die Enden der Lampen versiegelt – stattdessen haben wir uns auf die Kontrolle des Schmutzes konzentriert. Wenn ein Heizelement ausfällt oder die innere Röhre zerbricht, fängt die äußere Schutzhülle alles auf. Dadurch bleiben Schmutzpartikel hinter der Hülle zurück. Sie müssen sich keine Sorgen machen, dass kleine Glassplitter in die Wafer gelangen könnten. Da wir für diese Schutzhüllen hochreine Materialien verwenden, kann die Wärme dennoch durchdringen. So erhalten Sie die gewünschte Dichte, ohne dass die Chemie im Reinigungsprozess beeinträchtigt wird.
Die realistischen Kompromisse
Nichts ist perfekt. Durch die zusätzliche Schutzhülle entsteht zwar ein gewisser thermischer Verzug – es dauert etwas länger, bis die Lampe richtig warm wird. Sie müssen daher die Einstellungen des PID-Systems anpassen, damit die Oberflächentemperaturen genau dort bleiben, wo sie sein sollten.
Außerdem sollten Sie die Versiegelungen regelmäßig überprüfen. Wir empfehlen, sie alle 500 Stunden zu kontrollieren. Wenn eine Versiegelung beschädigt wird, dringt Feuchtigkeit ein – und Sie befinden sich wieder am Anfang mit dem Risiko eines thermischen Schocks. Verwenden Sie außerdem Hochtemperaturkabel für die Verbindungen, damit diese nicht schmelzen, wenn es heiß wird.