Trocknen von MEMS-Wafern mit Infrarotstrahlung Beim Trocknen von MEMS-Sensorwafern muss man ein schwieriges Gleichgewicht finden. Die Feuchtigkeit...

Hören Sie auf, die Wände zu erhitzen – es gibt eine bessere Möglichkeit, die Wafer zu trocknen. Wenn Sie bereits Erfahrung mit dem Trocknungsprozess...

In der 200-mm-Linie ist das Trocknen nach der Reinigung kein bloßer Stillstand – es ist vielmehr ein entscheidender Schritt. Dabei spielen die...