Einheitliche Lichtquelle für das Aushärten des Fotolacks
In der Lithografie-Produktion ist die Trocknungsphase keine Pause – sie stellt vielmehr eine Kontrollfunktion dar. Wenn die Trocknung nicht...
Belichtungslampe für Fotoresist
Auf dem Lithographie-Boden sind Softbake und Hardbake nicht nur Schritte – sie sind thermische Handshakes. Eine Drift von einem halben Grad...