장비 오븐용 석영 히터 튜브
제조 공정에서는 소프트 베이크 과정 중에 발생하는 열 변동이나 건조 챔버 내의 온도 불균일성으로 인해 필요한 열량이 줄어듭니다. 웨이퍼가 클린룸을 나오기도 전에 생산 효율이 저하됩니다. 우리는 이러한 문제를 방지하기 위해 석영 히터 튜브를 개발했습니다. 이 히터는 공...
클린룸 오븐 적외선 히터
제조 현장에서는, 단 1.2°C라는 미세한 온도 변화만으로도 규격에 맞아야 할 포토레지스트의 특성이 망가질 수 있습니다. 우리는 이러한 변수들을 제거하기 위해 클린룸용 적외선 히터를 개발했습니다. 이 히터는 반도체 제조 공정의 특성을 고려하여 설계되었으며, 열량은 일...
진공 오븐 가열 요소 제작
제조 현장에서 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 열 처리 단계가 아니라 수율 관리의 관문이다. 0.5°C의 온도 변동은 CD 제어를 무너뜨리고, 입자 수 급증은 큰 손실을 초래할 수 있다. 진공 오븐의 히터는 저압 환경에서 아우트가스 발생이나 오염 없이 안정적인...