Auf der Produktionsfläche kann bereits eine Temperaturänderung von 1,2°C ausreichen, um ein Photoresist-Material, das eigentlich den Anforderungen entsprechen sollte, unbrauchbar zu machen. Deshalb haben wir einen Infrarotheizer entwickelt, der solche Schwankungen ausgleicht. Er ist für die Realitäten der Halbleiterherstellung konzipiert – dort ist die Temperatur festgelegt und die Anzahl der Partikel muss im einstelligen Bereich liegen.
Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotstrahler mit schneller Reaktionszeit und präziser Spektralkontrolle. Dadurch können wir die Homogenität der Temperatur auf der Waferoberfläche bei ±0,1°C halten. Die Temperaturgenauigkeit bleibt dabei in jedem Zyklus konstant – dadurch bleiben die kritischen Abmessungen während der Lithografie stabil. Das Design ist außerdem für Umgebungen im Reinraum geeignet: Die abgeschlossene Strahlerarchitektur sowie Materialien mit geringer Ausgasung verhindern, dass die Partikkelanzahl ansteigt – selbst in Reinräumen der Klassen 1–100. So erhalten Sie 24/7 Zuverlässigkeit ohne unplanmäßige Ausfälle. Zudem ist der Energieverbrauch geringer als bei herkömmlichen Heizplatten, da nicht große Mengen an Material erhitzt werden müssen.
Die Verarbeitung des Photoresists geht nicht darum, die Temperatur zu erhöhen – es handelt sich vielmehr um einen präzisen thermischen Prozess. Mit diesem Heizer kann die Temperatur schnell erhöht werden, anschließend bleibt sie während des Soft-Baking- und Hard-Baking-Prozesses konstant. Danach wird die Temperatur wieder kontrolliert gesenkt. Der Vorteil ist eine gleichmäßige Entfernung des Lösungsmittels, eine stabile Filmdicke sowie eine präzise Kontrolle der Abmessungen.
Außerdem müssen Sie nicht zwischen Leistung und Kontrolle der Kontamination abwägen. Die Kompatibilität mit Reinräumen ist bereits in der Konstruktion berücksichtigt – dadurch wird die Prozessqualität verbessert, ohne dass die Chemikalien oder die Prozesszeiten geändert werden müssen.
Ein paar praktische Hinweise vor der Auswahl des Geräts
Bei der Installation muss man darauf achten, dass die Geometrie des Trockenraums richtig angepasst wird und die Ausrichtung der Strahler bezüglich des Waferpfads korrekt ist. Bei einer Nachrüstung sind geringfügige Anpassungen notwendig. Das Gerät hält nur dann seine Spezifikationen ein, wenn die Luftzufuhr, die Absaugung sowie die Sauberkeit der Reflektoren entsprechend den Vorgaben behandelt werden.
Planen Sie außerdem einen eigenen Stromkreis ein und überprüfen Sie im Voraus die Toleranzen der Stromspannung. Eine zu niedrige Spannung beeinträchtigt die Stabilität der Einstellungen und somit auch die Homogenität. Wir stellen außerdem die notwendigen Schnittstellen zum Steuergerät bereit, damit die Integration einfach und reproduzierbar erfolgt.