Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Warum goldbeschichtete Reflektoren tatsächlich wichtig sind
Seien wir ehrlich: Die Verschwendung von Energie bei der Herstellung von Halbleitern ist einfach ein schlechtes Design. Wenn man hochleistungsstarke Infrarotlampen verwendet, erreicht ein großer Teil der Energie das Substrat überhaupt nicht. Die Energie strahlt einfach wieder zurück und geht verloren. Das ist eine totale Verschwendung von Elektrizität. Deshalb verwenden wir goldbeschichtete Reflektoren.
Warum Gold?
Es geht dabei darum, wie Gold mit Infrarotlicht umgeht. Aluminium oder poliertes Stahl sind zwar für bestimmte Zwecke geeignet, doch sie versagen, wenn die Wellenlänge zunimmt. Gold hingegen nicht. Wir legen eine dünne Schicht Gold auf den Reflektor, damit die Photonen gefangen werden können und wieder direkt auf das Wafer gerichtet werden. Dadurch wird die Energie konzentriert. Das Beste daran: Man erhält viel mehr Wärme genau dort, wo sie benötigt wird – ohne dass die Sicherungen durch die höhere Leistung ausgelöst werden.
Eine Warnung bezüglich der Wärmedichte
Wenn man so viel Energie an einem kleinen Punkt konzentriert, wird es sehr heiß. Ich habe gesehen, wie Ingenieure versuchen, die Leistung zu erhöhen, um die Aufwärmzeit zu verringern – doch sie vergessen dabei das Chassis. Wenn die Kühlsysteme nicht für diese hohe Wärmemenge ausgelegt sind, entstehen Probleme. Es kann sogar passieren, dass die Halterungen der Lampen verdreht werden. Das ist ein klassisches Beispiel dafür, dass man bei dem Versuch, ein Problem zu lösen, stattdessen ein anderes schafft.
Praktische Anwendung
Die gute Nachricht ist, dass diese Reflektoren in der Regel als einfacher Ersatz für die alten, polierten Platten dienen können. Es ist nicht nötig, die Verkabelung zu verändern oder die Stromversorgung auseinanderzunehmen.
Aber es gibt eine Einschränkung: Halten Sie die Reflektoren sauber. Ein wenig Staub oder chemische Rückstände mögen zwar harmlos erscheinen, doch sie mindern die Reflexionsfähigkeit der Reflektoren. Wenn das passiert, nehmen die Bearbeitungszeiten zu – und man ist wieder am Ausgangspunkt.
Wir entwickeln diese Reflektoren für Betriebe mit hohem Durchsatz, wo jede Sekunde, die zum Aufwärmen benötigt wird, Geld kostet. Durch die Konzentration der Strahlung wird die Zieltemperatur schneller erreicht – und man verbraucht weniger Energie pro Wafer. Das macht einfach Sinn.