Warum wir bei der Tiefenverarbeitung auf Infrarot statt auf Heißluft setzen
Denken Sie daran, wie ein Konvektionsofen funktioniert: Zuerst wird die Luft erhitzt – anschließend erwärmt diese Luft schließlich das Essen. Es vergeht eine gewisse Verzögerung. In der Welt der Halbleiterverarbeitung ist diese Verzögerung fatal – es handelt sich dabei um verschwendete Zeit, die man sich einfach nicht leisten kann.
Deshalb verwenden wir Ultraschallreine (UHP)-Infrarotlampen. Damit eliminieren wir den „Mittemann“ – also die Luft – völlig aus dem Prozess.
Der Geschwindigkeitsunterschied ist enorm.
Da Infrarotlampen elektromagnetische Strahlung nutzen, erreicht die Wärme die Wafer bereits im Moment des Einschaltens. Es handelt sich dabei um eine nahezu sofortige Wärmeverteilung. Während ein Heißluftsystem noch Minuten braucht, um eine konstante Temperatur zu erreichen, erreicht eine UHP-Lampe die gewünschte Temperatur bereits in Sekunden.
Das ist wirklich schnell. Und das verändert alles an Ihrem Arbeitsablauf – Sie können pro Schicht mehr Wafer verarbeiten.
Über die „Reinheit“ des Reinraums
Das Ausgasen ist ein großes Problem. Standardlampen geben oft Unreinheiten ab – doch unsere UHP-Lampen verwenden hochwertigen synthetischen Quarz sowie spezielle Dichtungen. Es gibt keine Partikelfreisetzung – keine Überraschungen. Wir halten die Leistungsdichte hoch, damit die gesamte Anlage nicht den ganzen Raum einnimmt.
Eine Warnung: Achten Sie auf Ihre Stromversorgung. Diese Hochleistungslampen verbrauchen viel Strom. Wenn Ihre Transformatoren nicht für diese Belastung geeignet sind, kommt es zu Spannungseinbrüchen. Und sobald die Spannung sinkt, geht auch die Temperaturregulierung verloren.
Es handelt sich dabei nicht um eine „Plug-and-Play“-Lösung.
Der Umstieg von Heißluft auf Infrarot erfordert Planung. Infrarotstrahlen sind gerichtet – daher muss man sehr genau darauf achten, wo die Wärmequelle platziert wird. Selbst kleine Abweichungen können dazu führen, dass es kühle Stellen sowie Temperaturunterschiede auf der Wafer gibt. Es handelt sich dabei um ein Geduldsspiel.
Mein Rat: Wechseln Sie nicht alles auf einmal um. Beginnen Sie mit den Bereichen, in denen die Zeit das größte Problem darstellt. Erreichen Sie zunächst genau die gewünschte Temperatur hier, bevor Sie zum Rest übergehen.
Der eigentliche Vorteil liegt nicht nur in der Leistung – sondern auch in der Effizienz. Sie benötigen viel weniger Zeit, um das gleiche Ergebnis zu erzielen.