Trong quy trình in ấn bằng phương pháp litography, bước nung khô không phải là một giai đoạn tạm dừng, mà chính là yếu tố quan trọng để kiểm soát chất lượng sản phẩm. Nếu việc nung khô diễn ra không đều, điều đó sẽ dẫn đến sự biến đổi về độ dày của lớp phim bảo vệ, xuất hiện các sóng dao động, và giảm tỷ lệ sản phẩm thành công. Chúng tôi đã thiết kế các bóng đèn dùng để nung khô sao cho có thể loại bỏ những yếu tố gây biến động này.
Yếu tố quan trọng nhất chính là việc kiểm soát nhiệt độ ngay tại bề mặt wafer. Các linh kiện halogen tia ngắn và tia trung bình, kết hợp với các bộ phận quang học làm từ thạch anh và các bộ phản xạ được thiết kế đặc biệt, giúp đạt được hiệu ứng nhiệt độ nhanh chóng và ổn định. Chúng tôi đảm bảo rằng độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bề mặt wafer nằm trong khoảng ±0,1°C.
Về mặt môi trường làm việc, hệ thống này có khả năng tương thích với các phòng sạch cấp độ 1–100. Điều này được thực hiện nhờ việc sử dụng các vật liệu ít giải phóng khí và thiết kế hệ thống giúp loại bỏ hoàn toàn các hạt bụi trong quá trình hoạt động. Kết quả là nhiệt độ nung khô có thể được ghi lại, kiểm soát chặt chẽ, và có thể chuyển sang các máy khác một cách dễ dàng.
Việc sản xuất bán dẫn đòi hỏi sự ổn định. Việc duy trì độ ổn định này giúp tăng tính lặp lại của quy trình sản xuất, giảm lượng sản phẩm hỏng, và giảm chi phí tái sản xuất. Việc sử dụng năng lượng cũng giảm đi vì bóng đèn có thể đạt được nhiệt độ mong muốn một cách nhanh chóng và duy trì nhiệt độ đó mà không gây lãng phí năng lượng. Trong các nhà máy sản xuất với công suất lớn, sự ổn định này giúp duy trì hoạt động liên tục của dây chuyền sản xuất, giảm chi phí trên mỗi wafer, và đảm bảo độ đồng đều của các lớp vật liệu được in lên wafer.
Một điểm cần lưu ý là việc đạt được độ đồng đều ở mức ±0,1°C đòi hỏi sự kết nối chặt chẽ giữa bộ điều khiển nhiệt độ và bộ phận di chuyển wafer. Việc điều chỉnh công suất của bóng đèn sao cho phù hợp với thông số nhiệt độ của thiết bị không phải là điều có thể bỏ qua.
Thời gian cần thiết để thiết lập các thông số cần thiết cho hệ thống khá ngắn. Một khi đã được calibrate, hệ thống có thể hoạt động 24/7 mà không gặp sự cố nào. Tuy nhiên, việc thiết lập ban đầu này là một phần không thể thiếu trong quá trình lắp đặt.