Trên sàn sản xuất, các hồ sơ nhiệt độ nung photoresist phụ thuộc vào một yếu tố duy nhất: sự ổn định của cụm đèn. Nếu nhiệt độ soft bake lệch chỉ 0,5°C, kiểm soát kích thước mẫu (CD) sẽ bị ảnh hưởng. Nếu hard bake thay đổi 1,0°C, sẽ xuất hiện hiện tượng scumming và cặn. Chúng tôi thiết kế bộ điều chỉnh công suất SCR cho đèn để bạn có thể giữ các khoảng nhiệt ổn định—liên tục, ca này qua ca khác.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật
Bộ điều chỉnh sử dụng cấu trúc silicon-controlled rectifier với cảm biến dòng điện dạng vòng kín. Bạn đạt được độ phân giải công suất 0,1% và độ đồng đều nhiệt độ trạng thái ổn định ±0,1°C trên toàn bộ vỏ đèn. Hỗ trợ các loại đèn halogen, quartz, sóng ngắn, sóng trung, và carbon-fiber/NIR, từ 24 V đến 480 V, đồng thời trang bị giao diện chuẩn 2 dây và 4 dây để có thể lắp trực tiếp vào các đĩa nung wafer track và thiết bị đóng rắn. Thiết kế không phát sinh hạt và tương thích phòng sạch Class 1–100 đảm bảo số lượng hạt không tăng trong quá trình nung/đóng rắn.
Lý do bộ điều chỉnh này phù hợp với quy trình lithography và xử lý photoresist là bạn cần đạt được nhiệt độ nung lặp lại chính xác để giữ kích thước mẫu (CD) ổn định và giảm phế phẩm. Bộ điều chỉnh này khóa chặt công suất đèn, giúp ngân sách nhiệt độ nằm trong giới hạn cho phép. Kết quả là khoảng quy trình ổn định hơn và giảm số lượng lô phải làm lại.
Bạn cũng sẽ nhận thấy hiệu quả trên mức tiêu thụ năng lượng. Bộ điều khiển tránh hiện tượng vượt quá công suất và duy trì điểm đặt mà không cần bật tắt liên tục, từ đó làm giảm lượng điện tiêu thụ. Các thiết bị đã được vận hành hơn 5.000 giờ với mức suy giảm công suất dưới 5% — giảm số lần thay đèn và bảo trì định kỳ, giúp bạn dễ dàng lên kế hoạch.
Một vài lưu ý thực tế. Thiết bị được thiết kế và xác nhận tương đương theo tiêu chuẩn thiết bị bán dẫn quốc tế, nhưng đường dây điện không giống với các bộ tiếp điểm cơ khí truyền thống. Cần một bước hiệu chỉnh nhanh để khớp khối lượng nhiệt và tinh chỉnh PID phù hợp với tổ hợp đèn và đĩa nung của bạn.
Hãy tự tạo một đường tiếp đất riêng biệt với cáp có lớp chống nhiễu. Điều này ngăn EMI xâm nhập vào các khu vực đo lường nhạy cảm, nơi tiếng ồn có thể gây hỏng kết quả.