Trên dây chuyền in ấn bằng phương pháp lithography, sự thay đổi nhiệt độ chỉ 2°C trong quá trình xử lý hóa chất phủ lên wafer cũng đủ để làm hỏng toàn bộ sản phẩm. Chúng tôi đã điều chỉnh lại thiết kế của bộ giữ đèn hồng ngoại nhằm duy trì mức nhiệt độ ổn định trong khoảng ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt wafer. Bởi vì trong ngành này, hiệu suất sản xuất phụ thuộc rất nhiều vào mức độ ổn định của nhiệt độ.
Những yếu tố quan trọng Bộ giữ đèn này giúp cố định vị trí của các đèn hồng ngoại một cách chính xác, từ đó giúp duy trì độ chính xác trong việc căn chỉnh vị trí đèn và khoảng cách tập trung ánh sáng. Thiết bị này hoạt động hiệu quả với cả sóng ngắn và sóng trung bình, giúp tăng tốc độ xử lý nhiệt đồng thời giảm thiểu sai số. Các vật liệu polymer và lớp phủ kim loại được sử dụng trong thiết bị này giúp giảm thiểu sự tạo ra các hạt bụi, phù hợp với môi trường phòng sạch loại 1–100. Kết quả là nhiệt độ xử lý luôn ổn định, độ chính xác cao, và chiều rộng của wafer cũng được kiểm soát chặt chẽ.
Tại sao thiết bị này lại phù hợp cho quy trình xử lý wafer? Nhiệt độ trong quá trình xử lý không thể thay đổi đột ngột. Bộ giữ đèn này giúp duy trì nhiệt độ ổn định, từ đó giảm thiểu các lỗi liên quan đến hóa chất phủ lên wafer. Thiết bị này giúp giữ vị trí các đèn ổn định trong suốt 24/7, giúp giảm thời gian ngừng máy và tiết kiệm năng lượng. Điều này giúp tăng tốc độ xử lý, cải thiện độ chính xác, và giảm thiểu các sai số do sự thay đổi vị trí đèn.
Ghi chú khi lắp đặt Việc lắp đặt đòi hỏi phải có lực vặn chính xác và việc đặt đèn vào vị trí phù hợp. Nếu lực vặn không chính xác, nhiệt độ có thể thay đổi vài chục phần trăm độ. Bộ giữ đèn này có thể được lắp đặt trên các thanh treo tiêu chuẩn, nhưng một số loại khung cũ có thể cần phải sử dụng phụ kiện riêng. Hãy kiểm tra định kỳ vị trí đặt đèn, và đảm bảo rằng mọi thao tác đều được thực hiện trong môi trường phòng sạch để duy trì mức độ sạch tối ưu.