Voorkom dat kapotte lampen je wafers beschadigen
In een reinigingsinstallatie voor halfgeleiders is het kapotgaan van een lamp meer dan alleen een lastig probleem of verlies van productietijd. Het is een nachtmerrie.
Wanneer een kwartsbuis onder zware belasting breekt, vallen er glasdeeltjes en tungstenvilamen op de wafers terecht. Hierdoor kunnen alle wafers beschadigd raken. We hebben onze waterdichte IR-lampen speciaal ontworpen om dit te voorkomen.
Waarom gaan ze eigenlijk kapot?
De omstandigheden in een reinigingsinstallatie zijn zeer zwaar. Er zijn hoge vermogensbronnen die zich op slechts enkele centimeters afstand van het water bevinden. De temperatuurschommelingen zijn enorm. Als één druppel water op een zeer hete kwartsbuis terechtkomt, kan deze onmiddellijk breken. Om dit te voorkomen, hebben we de lampen omhuld met een speciaal waterdicht coating met gesloten uiteinden. Hierdoor kan het water en de hitte de lamp niet bereiken.
Het voorkomen van vuil en schade
We hebben niet alleen de uiteinden afgesloten; we hebben ook geprobeerd het vuil binnen te houden. Als een filament kapotgaat of de binnenste buis breekt, wordt alles opgevangen door de buitenste beschermende laag. Het vuil blijft dus op zijn plek. Je hoeft je geen zorgen te maken over kleine glasdeeltjes die in de wafers terechtkomen.
Omdat we hoogzuivere materialen gebruiken voor deze laag, kan de hitte nog steeds door. Je krijgt dus de gewenste dichtheid zonder dat de chemische samenstelling van het reinigingsproces wordt beïnvloed.
De nadelen
Niets is perfect. Het toevoegen van deze beschermende laag zorgt inderdaad voor een klein vertragingseffect. Het duurt iets langer voordat de lamp op temperatuur is vergeleken met een lamp zonder deze laag. Je moet de PID-instellingen aanpassen om de oppervlakstemperatuur op het juiste niveau te houden.
Een laatste tip: controleer regelmatig de afsluitingen. We raden aan dit elke 500 uur te doen. Zodra een afsluiting het begint te begeven, komt er vocht binnen, waardoor je weer terug bent bij het beginpunt en het risico op thermische schokken weer bestaat. Gebruik ook leidingen met hoge hittebestendigheid, zodat de verbindingen niet smelten wanneer het heet wordt.