Op de productielijn kan een lichte temperatuurstijging van 1,2°C al zorgen voor problemen met het profiel van de fotoresist. Dit resulteert erin dat het materiaal dat volgens de specificaties zou moeten werken, niet meer bruikbaar is. We hebben daarom een infraroodverwarmer ontworpen die deze variabiliteit wegneemt. Deze verwarmer is bedoeld voor de realiteit van halfgeleiderfabricage: hier is de thermische capaciteit beperkt en moet het aantal deeltjes binnen bepaalde grenzen blijven.
Wat echt belangrijk is We gebruiken kortegolflange infraroodemitters met een snelle reactietijd en nauwkeurige spectraalkontrol. Hierdoor kunnen we de homogeniteit op het oppervlak van de chip behouden bij een tolerantie van ±0,1°C. De temperatuurrepetitiebheid blijft constant, zodat de belangrijke dimensies tijdens de lithografieproces stabiel blijven. Het ontwerp is geschikt voor gebruik in schone ruimtes: de afgesloten emitterstructuur en de materialen met lage uitstoot van gassen voorkomen dat het aantal deeltjes toeneemt, zelfs in omgevingen met een zuiverheidsniveau van Class 1–100. U krijgt 24/7 betrouwbare prestaties, zonder onverwachte stilstand. Bovendien is het energieverbruik lager dan dat van conventionele verwarmingsapparaten, omdat er geen grote hoeveelheden materiaal hoeft te worden verhit.
Het verwerken van fotoresist heeft niets te maken met ‘het opwarmen’. Het gaat om een precisieproces. Met deze verwarmer kan de temperatuur snel worden verhoogd, waarna deze constant wordt gehouden tijdens het verwerkingsproces. Daarna kan de temperatuur weer geleidelijk worden verlaagd. Het voordeel is dat de oplossing consequent kan worden verwijderd, de dikte van het filmpje constant blijft en de dimensies nauwkeurig kunnen worden bepaald.
U hoeft dus geen keuze te maken tussen thermische prestaties en controles van vervuiling. De compatibiliteit met schone ruimtes is al in het ontwerp opgenomen. Hierdoor wordt het mogelijk om het proces efficiënter uit te voeren, waardoor er minder herwerkingswerk nodig is en de opbrengst verbetert. Er hoeft geen verandering te worden aangebracht in de chemische processen of de tijdsindelingen.
Een paar praktische tips voordat u de apparatuur bestelt: de installatie vereist dat de geometrie van de verwerkingskamer goed wordt overeengebracht met die van de emitter. Als u de apparatuur achteraf wilt installeren, moet u rekening houden met eventuele aanpassingen. De apparatuur werkt alleen optimaal als de luchtcirculatie, de afvoer en de reinheid van de reflectoren correct zijn ingesteld. Plan erop om een aparte stroomkring te gebruiken, en controleer van tevoren de spanning die nodig is. Een te lage spanning kan de stabiliteit van de temperatuur beïnvloeden. Wij leveren ook de benodigde interfaces voor de integratie, zodat de installatie eenvoudig en reproduceerbaar verloopt.