Op de lithografielijn is een verschil van 2°C tijdens het verhitten van de fotoresist al voldoende om veel producten onbruikbaar te maken. We hebben de bevestigingsclip voor de infraroodlampen aangepast, zodat de temperatuurovereenkomstig blijft binnen een marge van ±0,1°C over het hele waferoppervlak. In deze branche hangt de opbrengst af van deze verschillen.
Wat belangrijk is De bevestigingsclip houdt de NIR-lampen op hun plek, zodat de positie van de lampen en de brandpuntsafstand constant blijven. Hierdoor wordt een snelle thermische reactie bereikt, met minimale afwijkingen. De gebruikte polymeren en metalen zijn geschikt voor gebruik in schone kamers, waardoor er nauwelijks deeltjes worden geproduceerd. Dit zorgt voor stabiele temperaturen tijdens het verhitten van de wafer, betere controle over de dikte van de laag die wordt gecreëerd, en consistente lijnwijden.
Waarom dit nuttig is bij het verwerken van wafern De thermische omstandigheden mogen niet veranderen. De bevestigingsclip houdt de temperatuur constant, waardoor er minder herwerkwerk en defecten in de fotoresist ontstaan. De lampen blijven stevig vastzitten, zelfs tijdens 24/7 productie. Dit vermindert onverwachte stilstandtijden en de energieverbruik door herverhittingsprocessen. Er wordt ook sneller een optimale configuratie bereikt, waardoor de reproduceerbaarheid verbetert en er minder afwijkingen optreden.
Opmerkingen ter plaatse Voor een correcte installatie is het belangrijk om de juiste kracht te gebruiken bij het bevestigen van de lampen. Als dit niet goed gebeurt, kan de temperatuur met enkele tienden van een graad afwijken. De bevestigingsclip past op standaardmontagerails, maar oude apparaten kunnen mogelijk een speciale bevestiging nodig hebben. Plan regelmatige controles in, en zorg ervoor dat alles volgens de richtlijnen voor schone kamers wordt behandeld, zodat de kwaliteit behouden blijft.