Het voorkomen van scheuren in kwartsbuizen bij het drogen van wafern onder hoge belasting
In een fabriek met hoge belastingen is het een nachtmerrie wanneer een lamp kapotgaat. Het gaat niet alleen om de stilstand die dit met zich meebrengt. Als een kwartsbuis tijdens het drogingproces barst, vliegen er scherven en chemische stoffen overal heen. Hierdoor raken de wafern besmet, en moet er dringend opgeruimd worden. Wij bouwen onze IR-lampen zodanig dat ze deze hitte kunnen weerstaan, zodat u zich geen zorgen hoeft te maken dat uw schoonruimte verandert in een chaoszone.
Omgaan met hitte en het risico op breuk
IR-lampen met hoge vermogens worden extreem heet. Als ze tot hun maximale capaciteit worden gebracht, zorgt de hitte ervoor dat het kwarts uitzet. Dit veroorzaakt veel spanning op de glazen buis.
Om dit te voorkomen, gebruiken wij kwarts van hoge zuiverheid. Dit materiaal uitzet nauwelijks, waardoor de buis niet zal barsten wanneer de temperatuur snel wordt verhoogd of verlaagd.
Maar het materiaal is nog niet alles. Wij zorgen er ook voor dat het binnenste filamento precies in het midden zit. Als dit zelfs maar iets verschuift, ontstaan er ‘ hete punten’ – plekken waar de hitte zich concentreert. Hier begint meestal de breuk. Door het filamento in het midden te houden, blijft de lamp functioneren.
Het voorkomen van vuil
We rekenen er niet alleen op dat de buizen het gaan houden. We nemen ook extra maatregelen om te voorkomen dat er vuil op de wafern terechtkomt. Eerst kunnen we speciale coatings gebruiken. Deze laten het IR-licht door, maar maken de buis tegelijkertijd sterker. Daarnaast gebruiken we buizen die bestand zijn tegen breuk. Dit is een soort back-upplan: als een buis toch breekt, blijven de scherven binnenin de buis zitten. Op deze manier blijven de wafern schoon.
De trade-offs
Een hoge energiedichtheid is natuurlijk goed, maar het vereist ook veel van de apparatuur. Wanneer deze lampen op volle toeren werken, komen de stroomvoorzieningen en koelsystemen onder druk te staan. U moet ervoor zorgen dat het koelsysteem de hitte die van de wafern afkomt, kan verwerken.
Als de luchtstroom zwak is, zal de behuizing oververhitten. Dit kan leiden tot defecten in de connectoren en elektrische problemen. Het is een simpel principe: betere koeling betekent een langere levensduur voor de apparatuur.