Op de productieafdeling kan thermische drift tijdens het zachte bakproces of een ‘koude plek’ in de droogkamer ertoe leiden dat de benodigde...

Op de productielijn kan een lichte temperatuurstijging van 1,2°C al zorgen voor problemen met het profiel van de fotoresist. Dit resulteert erin dat...

Op de productievloer zijn soft bake en hard bake niet slechts thermische stappen—het zijn opbrengstvoorschriften. Een afwijking van 0,5°C verstoort...