Kızılötesi Işınları Kullanarak MEMS Waflerinin Kurutulması MEMS sensör waflerini kuruturken dengeli bir yaklaşım benimsemek gerekiyor. Nemin tamamen...

Duvarları ısıtmayı bırakın: Waferleri kurutmanın daha iyi bir yolu Eğer bir fabrikada kurutma işlemlerini yönetmekle uğraştıysanız, bu durumun ne...

200mm hatlarında, temizleme işleminden sonra yapılan kurutma işlemi sadece boşa geçen zaman değildir. Bu aşamada yüzey gerilimi, kalan çözücüler ve...