Duvarları ısıtmayı bırakın: Waferleri kurutmanın daha iyi bir yolu
Eğer bir fabrikada kurutma işlemlerini yönetmekle uğraştıysanız, bu durumun ne kadar zor olduğunu bilirsiniz. Waferleri kurutmaya çalışırsınız, ancak enerjinizin yarısı makinenin gövdesine boşa harcanır. Bu oldukça sinir bozucu bir durumdur. Sonuç olarak iç duvarlar yanar ve makine o kadar sıcak hale gelir ki dokunulamaz hale gelir. Bu da onu bakım yapacak olan kişi için kabus gibi bir durumdur.
Bunu aşmanın bir yolu olarak yönlendirilmiş kızılötesi ısıtma sistemlerini kullanıyoruz.
Asıl mesele, ısının nereye gittiğidir.
Çoğu ısıtıcı tıpkı ampuller gibidir; enerjiyi her yöne saçar. Dar alanlarda bu israf edilen enerjinin gitmesi için başka bir yer yoktur; duvarlara gider. Biz ise reflektörler sayesinde ışığı dar bir şekilde odaklayan kısa dalga boylu kızılötesi lambalar kullanıyoruz. Böylece ısı sadece hedefe odaklanır ve çevre bölgeler soğuk kalır.
Ancak bu durumda bir takas gereklidir.
En iyi yanı hızdır. Tüm odanın ısınmasını beklemek zorunda kalmazsınız. Fotonlar neredeyse anında yüzeye ulaşır. Çok hızlıdır. Ayrıca yüksek güç yoğunluğu kullanıldığı için ekipman çok fazla yer kaplamaz.
Ancak dikkat etmeniz gereken bir nokta var: Soğutma sisteminize dikkat etmelisiniz. Duvarlar soğuk kalsa da, lambanın kendisi inanılmaz derecede ısınır. Eğer hava akışı doğru şekilde ayarlanmazsa, soketleriniz zarar görebilir veya termal sensörler devre dışı kalabilir.
Neden bu kadar önemli?
“Sıcak duvar” sorununu ortadan kaldırmak sadece enerji tasarrufu sağlamakla kalmaz; aynı zamanda zemini daha güvenli hale getirir. Kimse, hızlı bir wafer yükleme işlemi sırasında veya rutin bakım sırasında yanma korkusu yaşamak istemez. Ayrıca, wafer üzerinde çok daha düzenli bir ısı dağılımı sağlanır; bu da bükülme olasılığını büyük ölçüde azaltır.
Bunları basit ve kullanışlı yerine koyma ürünleri olarak tasarladık. Sadece mevcut ısıtıcılarınızı değiştirin, sıcaklığı kontrol etmek için bir PID kontrol cihazı bağlayın ve işte hazır. Artık enerjiyi duvarlarda boşa harcamazsınız ve ekipmanın sıcaklığı operatörlerin ilk yardım kutusuna koşmasına neden olmayacak seviyede kalır.