Vakum odanızı ısıtmayı bırakın
Yarı mamul üretimiyle uğraşan herkes bu zorluğu bilir. Wafer’i ısıtmak gerekir, ancak bu süreçte tüm ekipmanın yanmasını istemeyiz.
Sorun şu: Standart IR lambaları aslında güçlendirilmiş ampullerdir. Isıyı her yöne yayıyorlar. Bu enerjinin büyük bir kısmı wafer’e ulaşmaz ve doğrudan vakum odasının iç duvarlarına çarpar. Bu duvarlar tüm bu ısıyı emdiğinde işler karışır. Bu durumda contalar hasar görür ve makinenin yanında bulunan kişiler için ciddi bir güvenlik riski ortaya çıkar.
Isının doğru yere gitmesini sağlayın
Bunu yapmak için yönlendirilmiş IR ışınları kullanıyoruz. Sadece bir kuvars tüpü yerleştirip en iyisini ummak yerine, enerjiyi tam da ihtiyaç duyulan yere, yani wafer’e yönlendirmek için yansıtıcılar ve özel kaplamalar kullanıyoruz. Böylece ışın demeti daralır. Isıyı odaklayarak, bu “atık” enerjinin ekipmanın diğer kısımlarına yayılmasını engelliyoruz. Sonuç olarak, hedef nokta ihtiyaç duyduğu ısıyı alırken duvarlar soğuk kalır. Ayrıca soğutma sistemi de o kadar çok çalışmak zorunda kalmaz.
Kontrol edilmesi gereken noktalar
Bu durum “bir kez ayarlayıp unutma” durumu değildir. Burada hassasiyet her şeydir. Eğer lambanın konumu birkaç milimetre bile yanlışsa, wafer’de sıcak noktalar oluşur. Bu da ince film tabakası oluşturma veya aşındırma işlemleri için felaket anlamına gelir; çünkü sonuçlar düzensiz olur. Burada milimetreler önemlidir. Genellikle hızlı ısınma için yüksek watt yoğunluğu tercih edilir. Ancak unutmayın: Daha fazla güç, filamanın daha fazla ısınmasına neden olur. Güç kaynağınızın bu ani akım artışını kaldırabilmesine dikkat edin.
İş yerinin güvenliğini sağlayın
Sonuç olarak bu, sadece elektrik faturasından tasarruf etmekle ilgili değildir. Aynı zamanda makineyi kullanan insanların güvenliği de önemlidir. Eğer odanın duvarları tüm bu fazla radyasyonu emmezse, makinenin dış kısmı dokunulabilecek bir sıcaklıkta kalır. Böylece hızlı bir bakım işlemi veya wafer değişimi sırasında kimse yanma riskiyle karşı karşıya kalmaz. Böylece tehlikeli ve öngörülemez bir ısı durumu kontrol edilebilir bir sürece dönüşür.