Üretim alanlarında, sadece 1,2°C’lik bir sıcaklık değişimi bile, standartlara uygun olması gereken foto direnç profilini işe yaramaz hale getirebilir. Bu tür değişiklikleri ortadan kaldırmak için Temiz oda tipi kızılötesi ısıtıcılar geliştirdik. Bu cihazlar, termal bütçenin sabit olduğu ve partikül sayısının tek haneli rakamlarda kalması gereken yarı iletken üretimi koşulları için tasarlanmıştır.
Asıl önemli olan şeyler
Hızlı tepki veren ve spektral kontrolü yüksek olan kısa dalga boylu kızılötesi ısıtıcılar kullanıyoruz; böylece wafer üzerindeki sıcaklık düzeyini ±0,1°C aralığında tutabiliyoruz. Sıcaklık tekrarlanabilirliği de her seferinde aynı tolerans içinde kalıyor; bu da litografi işlemleri sırasında kritik boyutların sabit kalmasını sağlıyor. Tasarım, temiz oda koşullarına uygundur; kapalı ısıtıcı yapısı ve düşük gaz salınımı olan malzemeler sayesinde, Class 1–100 ortamlarında bile partikül sayısı artmıyor. Böylece 7/24 güvenilir çalışma imkanı elde edilir ve enerji tüketimi de geleneksel ısıtıcılara kıyasla daha azdır, çünkü çok büyük miktarlarda malzeme ısıtılmıyor.
Foto direnç işlemleri “ısınmayla” ilgili değildir; bu, hassas bir termal işlemdir. Bu ısıtıcı sayesinde sıcaklık hızla artırılır, yumuşak ve sert pişirme işlemleri sırasında sıcaklık sabit tutulur, ardından kontrollü bir şekilde azaltılır. Bunun sonucunda tutarlı bir çözücü uzaklaştırma, stabil film kalınlığı ve öngörülebilir boyut kontrolü elde edilir.
Ayrıca, termal performans ile kirlilik kontrolü arasında seçim yapmanıza gerek yoktur. Temiz oda uyumluluğu doğrudan tasarıma entegre edilmiştir; böylece işlem süreci daha verimli hale gelir, yeniden işleme ihtiyacı azalır ve verimlilik artar – kimya veya işlem süreleri değiştirilmeden.
Özellikleri belirlemeden önce bazı pratik noktalara dikkat etmek gerekiyor. Kurulum, pişirme odasının geometrisine uyum sağlamak ve ısıtıcıların wafer yoluna göre doğru şekilde yerleştirilmesini sağlamakla ilgilidir; eğer mevcut sistemde iyileştirme yapacaksanız, küçük düzenlemeler gerekebilir. Cihaz, hava akışı, egzoz ve yansıtıcıların temizliğinin prosedürlere uygun olarak yapıldığı durumlarda belirlenen özellikleri korur.
Ayrıca, özel bir güç devresi kullanılmalı ve sahadaki voltaj toleransları önceden kontrol edilmelidir. Voltaj düşüşleri, ayarların stabilitesini bozar ve düzgünlüğü etkiler. Kontrolör arayüzü sayesinde entegrasyon kolay ve tekrarlanabilir hale gelir.