เลิกใช้วิธีการให้ความร้อนกับผนังเครื่องจักรเถอะ… นี่คือวิธีที่ดีกว่าในการทำให้เวเฟอร์แห้ง
หากคุณเคยดูแลกระบวนการทำให้เวเฟอร์แห้งมาก่อน คุณคงเข้าใจดีถึงความยากลำบากของมัน คุณพยายามทำให้เวเฟอร์แห้ง แต่พลังงานส่วนใหญ่กลับถูกสูญเสียไปกับโครงเครื่องจักร มันน่าหงุดหงิดมาก ผนังภายในเครื่องจักรก็จะร้อนจนไม่สามารถสัมผัสได้ ซึ่งเป็นปัญหาใหญ่สำหรับผู้ที่ต้องดูแลเครื่องจักรนี้
เราได้หาวิธีแก้ปัญหานี้โดยการใช้การให้ความร้อนด้วยรังสีอินฟราเรดแบบมุ่งเป้า
เคล็ดลับอยู่ที่การกำหนดทิศทางของความร้อน
เครื่องให้ความร้อนส่วนใหญ่จะแผ่พลังงานไปในทุกทิศทาง เหมือนหลอดไฟ ในสภาพแวดล้อมที่อึดอัดแบบนี้ ความร้อนที่สูญเสียไปก็ไม่มีที่ไปนอกจากผนังเครื่องจักร เราจึงใช้หลอดไฟอินฟราเรดแบบคลื่นสั้นพร้อมกับเครื่องสะท้อนแสง ซึ่งจะช่วยให้ความร้อนมุ่งเป้าไปยังจุดที่ต้องการเท่านั้น แทนที่จะแผ่ความร้อนออกมาทั่วๆ ไป
ผลลัพธ์คือ ความร้อนจะไปถึงเป้าหมาย ส่วนผนังอื่นๆ ก็จะยังคงเย็นอยู่
แต่ก็มีข้อเสียเล็กน้อยเช่นกัน
ข้อดีคือความเร็วในการทำให้เวเฟอร์แห้ง คุณไม่ต้องรอให้เครื่องจักรร้อนขึ้นก่อน โฟตอนจะไปถึงเวเฟอร์ได้ทันที มันเร็วมาก และเนื่องจากเราใช้พลังงานในปริมาณมาก จึงไม่จำเป็นต้องใช้พื้นที่มากเพื่อติดตั้งเครื่องจักรนี้
แต่ก็มีข้อควรระวังอีกอย่าง คือคุณต้องคอยดูแลระบบระบายความร้อนด้วย แม้ว่าผนังจะยังคงเย็นอยู่ แต่ตัวหลอดไฟเองกลับร้อนมาก หากระบบระบายอากาศไม่เพียงพอ ก็อาจทำให้ชิ้นส่วนต่างๆ ของเครื่องจักรเสียหายได้
ทำไมต้องทำแบบนี้ล่ะ?
การกำจัดปัญหา “ผนังร้อน” ไม่ใช่เพียงเพื่อประหยัดค่าไฟเท่านั้น แต่ยังช่วยให้พื้นที่ปลอดภัยขึ้นด้วย ไม่มีใครอยากเสี่ยงกับการถูกไฟไหม้ระหว่างการทำงานหรือการบำรุงรักษาเครื่องจักร นอกจากนี้ วิธีนี้ยังช่วยให้อุณหภูมิของเวเฟอร์สม่ำเสมอมากขึ้น ซึ่งจะช่วยลดปัญหาการบิดตัวของเวเฟอร์ได้อีกด้วย
เราออกแบบเครื่องจักรนี้ให้สามารถนำมาแทนที่เครื่องให้ความร้อนแบบเดิมได้โดยง่าย แค่เปลี่ยนเครื่องให้ความร้อนเดิมออก แล้วเชื่อมต่อเข้ากับตัวควบคุม PID เพื่อรักษาอุณหภูมิให้อยู่ในระดับที่เหมาะสม คุณก็จะไม่ต้องเสียพลังงานไปกับผนังเครื่องจักรอีกต่อไป และอุณหภูมิของเครื่องจักรก็จะอยู่ในระดับที่ปลอดภัยสำหรับผู้ปฏิบัติงานด้วย.